“第三,光刻机的生产效率低下,以3400B来说,该EUV光刻机的生产效率是每小时125片晶圆,还不到DUV光刻机生产效率的一半,毫无疑问,该光刻机的生产效率不高,将直接导致芯片的生产成本居高不下。”

        “最后,便是光刻机的耗电量大,TJD的所有EUV光刻机开工用电量将会占用半个三峡电站的发电量。”

        “至于光刻机的好处我就不提了,我再说说光刻工厂的优缺点。”

        “缺点有一点很重要的,那就是波荡器、扭摆器、尾场激光器三大件,不能产生瞬间磁场的弯铁必须淘汰,还没有这样的装置进行验证。”

        “如果说光刻机是机床的话,光刻工厂就是一个车间,把光刻机尽量放大,用一台周长100到150米的环形加速器来作为光源,然后带动数台甚至是数十台光刻机进行工作。”

        “我们在追赶荷兰的光刻机时,如果只想着因循守旧,走人家的老路,很难在短时间内完成超越。”

        “我们必须要另辟蹊径,开发出新的技术路线。”

        “光刻工厂,就是我想到的最好办法!”

        听完王东来的话,沈总管陷入了沉默之中,久久没有言语。

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