“同时，一台光刻机每天二十四小时工作下来，生产出来的合格芯片，也只有几万枚而已。”
“但是，如果由光刻工厂来生产的话，生产效率能在光刻机的基础上翻上最低十倍之多。”
沈总管并没有因为王东来说出来的这么多优势而兴奋，依旧保持着冷静。
“你说的都是优点，我想半导体领域应该也有人能想到这一点，但是却没有人这么做，也没有这样的尝试，这里面肯定还是存在着一些问题。”
“从目前的情况来看，应该是坏处多于好处，所以你说的光刻工厂可行性暂且不说，你如何能证明它建造完成之后，可以超过光刻机。”
听到沈总管指出这个问题，王东来脸上浮现出一丝笑意。
“领导，您说的确实是一个很重要的问题。”
“关于这一点，我也可以做一个简单的解释。”
“光刻机也存在优点和缺点，它的缺点是光源相干性极差，使用反射镜滤光单镜光源损耗率30％，总损耗98％，ASML使用的反射镜全世界只有蔡司能够生产。”
“第二，光刻机的锡污染以及光路散热工程造成易损件成本增加，高NA升级到600瓦光源功率，使得整机成本增加到四倍。”
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