从光刻工厂实验工厂顺利完成芯片制造之后,发生的事情就和所预料的那样。

        虽然说,王东来已经研发出了EDA设计软件和光刻胶之类的核心设备以及材料。

        但这并不代表着我们就完全解决了光刻领域的技术难关。

        就像是现在,在集合了全国的尖端人才,还是卡在了照明系统这里。

        在光刻机里面,照明系统看似不起眼,实际却很重要。

        可以这么说,能出现在光刻机里面的技术和材料,就没有一个是简单的。

        工业技术皇冠的明珠,这绝对不是虚言。

        回到euv光刻机上面,利用极深紫外光成像,做到原子极的光滑度,来保证光刻精度和能量效率。

        镜面稍微有一点问题,或是凸起,或是凹陷,又或者尺寸不对,都会造成euv光线的严重散射和衍射,从而导致光线传播方向偏离,最后晶圆上的电路图案出现错位等问题。

        芯片的良品率就不用想了,低的吓人。

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